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    碳化硅擴產潮帶動專用設備快速發展
    發布時間:2022/7/29 6:31:29 | 在線投稿QQ:在線投稿

    碳化硅功率器件在汽車等應用領域正加速滲透,展現巨大市場空間,也吸引各路廠商加大擴產力度,繼Wolfspeed首條8英寸線投產后,博世集團、Rohm、英飛凌、東芝近期也紛紛宣布了碳化硅產線的擴建、新建計劃。

    與傳統硅晶圓產線相比,碳化硅制造工藝帶來了對設備的不同需求。

    意法半導體車用功率器件項目主管Giuseppe Arena表示,由于寬帶隙材料特有的物理化學特性,碳化硅制造工藝在外延生長、離子注入、高溫退火等環節與傳統硅基功率器件有較大不同,需要專門的腔室等模塊設計以控制缺陷、提高產率,在刻蝕、減薄等環節也需要特殊工具處理。

    隨著工藝和設備走向成熟,一些IDM企業正考慮將落后的6英寸硅晶圓產線,改造為碳化硅產線,業界專家估計僅需2000萬美元的投資調整工藝,采購少量專用設備,就能夠完成這樣的產線改造。

    目前這一領域也開始出現分工專業化苗頭,X-Fab等企業已涉足碳化硅代工業務。

    位于英國蘇格蘭的Clas-SiC就運營著一條6英寸碳化硅代工產線,產線上有10-15%是專用的碳化硅設備,其余大部分設備翻新自硅晶圓產線,該公司負責人Rae Hyndman表示,碳化硅業界采購二手設備同樣面臨交期瓶頸。

    碳化硅市場前景看好,也吸引設備制造商在這一領域加大投入,泛林技術專家David Haynes表示,針對硅晶圓工藝開發的設備,在處理碳化硅襯底時面臨的共同挑戰就是后者在可見光和近紅外區近乎透明,檢測模塊需要針對性優化。

    另一設備巨頭應用材料也已推出多款專用碳化硅設備,其針對碳化硅特殊物理化學特性設計的CMP設備據稱可明顯降低碳化硅晶圓表面缺陷,盛美公司業務發展總監Sally Ann Henry分析稱,目前碳化硅專用設備市場仍然處于早期發展階段,大部分IDM仍運營6英寸產線,預計新建的8英寸產能將在2024年開始集中釋放,對于頭部廠商而言,“兼容的設備”(bridge tools)將極具吸引力,這樣的設備可以先在6英寸產線導入,由于其配備有最先進的檢測模塊,在更換夾具、上下料等模塊后可以快速適配未來的8英寸產線。

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      Published at 2022/10/3 2:45:09, Powered By v1.0.0(MSSQL)